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体験入学の案内

 

4. プラズマ発生装置をつくろう

担当教員 徳沢季彦

耐熱ガラスとステンレスで構成する「真空容器」を自分たちで組み立て、ターボ分子ポンプやロータリーポンプなどの「真空ポンプ」で排気をし、「真空計」を取り付けて真空度をチェックし、アルゴンボンベからガス配管を接続して「燃料ガス」を調整しながら注入し、1kV超の「高DC電圧」あるいは13.56MHzの「高周波」を印加することで、「グロー放電」あるいは「誘電結合性プラズマ(ICP)」を生成し、できあがったプラズマをネットワークアナライザや各種プローブなどを用いて「測定」します。完成したプラズマ発生装置は秋の「一般公開で展示する」予定ですので、キレイなものを作りましょう。

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過去に作成したプラズマ装置の放電写真。今回もっとかっこ良いものを作ります。


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