4. プラズマ発生装置をつくろう
担当教員
徳沢季彦
耐熱ガラスとステンレスで構成する「真空容器」を自分たちで組み立て、ターボ分子ポンプやロータリーポンプなどの「真空ポンプ」で排気をし、「真空計」を取り付けて真空度をチェックし、アルゴンボンベからガス配管を接続して「燃料ガス」を調整しながら注入し、1kV超の「高DC電圧」あるいは13.56MHzの「高周波」を印加することで、「グロー放電」あるいは「誘電結合性プラズマ(ICP)」を生成し、できあがったプラズマをネットワークアナライザや各種プローブなどを用いて「測定」します。完成したプラズマ発生装置は秋の「一般公開で展示する」予定ですので、キレイなものを作りましょう。
過去に作成したプラズマ装置の放電写真。今回もっとかっこ良いものを作ります。