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6. 真空蒸着によるイメージングボロメータ用薄膜検出器の開発

担当教員 向井清史

イメージングボロメータは、ピンホールカメラの原理を利用し、プラズマからの輻射光を2次元イメージとして計測する装置です。ピンホールカメラの検出器(フィルム)には厚さ2.5μmの白金薄膜を使用しており、LHDプラズマからの様々な波長の光を検出するために、白金薄膜を炭素コートにより黒化処理しています。課題では、真空蒸着等で炭素コートした検出器サンプルを作製し、赤外線カメラやHe-Neレーザーを用いて熱特性の評価を行います。

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真空蒸着

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昨年度の課題の様子