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6. 真空蒸着によるイメージングボロメータ用薄膜検出器の開発

担当教員 向井清史

イメージングボロメータは、ピンホールカメラの原理を利用し、プラズマからの輻射光を2次元イメージとして計測する装置です。プラズマからの様々な波長の光を検出するため、ピンホールカメラの検出器(フィルム)には、金属や炭素からなる多層構造の薄膜を用いています。
本課題では、カプトンフィルムの上に金及び炭素を真空蒸着で成膜した検出器サンプルを作製し、赤外線カメラやHe-Neレーザーを用いて熱特性の評価を行います。

真空蒸着

課題の様子