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8. セラミック被覆の成膜と評価

担当教員 田中照也

核融合炉用電気絶縁材料として研究を進めている様々な酸化物セラミックの被覆(厚み;0.数μm)を金属基板上に成膜して試料を作製します。電子顕微鏡により被覆層表面や断面を観察し、成膜条件による様子の違いについて、その理由を考察します。また、電子ビーム誘起発光測定や、電気伝導度測定など、セラミック材料特有の特性について評価実験を行います。大きな核融合炉をつくるための材料も、まずは小さな試料から。

fig1308a
よく磨いた板にセラミックの原料をつけて500〜700度で焼きます

fig1308b
電子顕微鏡等を用いてセラミック被覆がどのように焼けたか評価します